静電気の基礎から解き明かし、静電気に起因する半導体の破壊問題やホコリ・異物不良発生問題とその対策方法を解説します。現在行われている方法の問題点を指摘し、新しい考え方と新しい方法を提示し、その具体的な実施例まで紹介します。
※なお、順次増刊する予定です。ご期待下さい。 |
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静電気対策HOME
> 静電気・異物読本 （第1回：静電気とホコリの基礎-1） |
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１．は じ め に２．静 電 気 に 起 因 す る 障 害
２−１．半導体の破壊
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静電気の基礎から解き明かし、静電気に起因する半導体の破壊問題やホコリ・異物不良発生問題とその対策方法を解説します。現在行われている方法の問題点を指摘し、新しい考え方と新しい方法を提示し、その具体的な実施例まで紹介します。
※なお、順次増刊する予定です。ご期待下さい。 |
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２−１．半導体の破壊
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