静電気の基礎から解き明かし、静電気に起因する半導体の破壊問題やホコリ・異物不良発生問題とその対策方法を解説します 。現在行われている方法の問題点を指摘し、新しい考え方と新しい方法を提示し、その具体的な実施例まで紹介します。
※なお、順次増刊する予定です。ご期待下さい。
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