異物・静電気対策イオナイザ空間除電

N₂ 空間トリンク

TAS-1783 SFS-N2-0580/0860

窒素雰囲気で無風除電、空間除電が可能。異物付着・混入や静電気トラブルを一挙に解決

特徴

■空間防塵®
■無風除電®
■低消費電力
■窒素環境対応

用途

その他

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特徴詳細

空間防塵® 効果で異物があっても付着しない新しいクリーン環境が構築可能

ホコリが付着するのは、物体とホコリが持つ静電気が引き合うためです。そこで両方の静電気を中和することで、ホコリ付着を劇的に減少させることが可能になります。

酸素濃度ppm レベルの高濃度窒素雰囲気に対応

グローブボックス内は、酸素濃度をppm レベルまで落とした超高濃度窒素雰囲気となります。この環境下では、通常のイオナイザは正常にイオンを出力することが不可能になり除電性能が著しく劣化してしまいます。N₂空間トリンクは、このような環境下において正イオンと負イオンのバランスを保ちながらグローブボックス内を空間除電することが可能です。

リストストラップや加湿が使えないグローブボックス内静電気対策の決定版

グローブボックス内では、原理上または作業性の問題からリストストラップや加湿を用いた対策を採用することができませんでした。N₂空間トリンクは、設置してスイッチをONするだけで簡単に内部の静電気対策が実行可能です。

放電針ワンタッチクリーナ搭載

グローブボックスはグローブを介しての作業となるため、放電針の清掃が負担になります。本機は、ワンタッチクリーナを有しており、ユニット端のボタンを押すだけで全ての放電針の清掃が完了します。

スリムなデザイン

グローブボックス内やチャンバー内は設置スペースが限られます。N₂空間トリンクはイオンバーと本体を分離したセパレート構造を有しています。わずか21mm 幅のイオンバーのみを窒素環境に配置すればよいため、狭い装置内スペースにも自由度をもって設置することが可能です。

高濃度窒素環境下で空間除電®が可能に

・背景：窒素環境プロセスの重要性増大
　酸素・湿度を嫌う工程で、グローブボックス・チャンバー内を窒素に置換して製造を行います。

・課題：静電気起因のトラブルが多発
　湿度が極限まで低下するため静電気が発生しやすく、異物付着・静電破壊・工程不具合が起きやすい環境になります。

・従来の限界：既存イオナイザ対応不可
　高濃度窒素雰囲気下では正常動作できず、静電気対策が長年不可能なままでした。

・TRINCの解決策：N2 空間トリンクで空間除電
　正・負イオンを大量拡散し、高濃度窒素雰囲気でも空間全体を静電気フリーにできる唯一の対策機器です。