SOLUTION 解決事例

総合化学メーカーのシリコン製造工場での事例

総合化学メーカーの半導体材料工場において、作業エリアへの異物持ち込みが問題になっていました。シリコン材料の検査・測定エリアでは、品質を確保するため異物混入は絶対に避けなければならないのですが、建屋に据え付けられている既存エアシャワーでは、作業者の異物をうまく除去することができなかったのです。 そこで、TRINCイオンエアシャワーキットをクリーンルーム内の作業エリア前に設置して、作業直前にもう一度クリーニングを徹底する工程を採用しました。TRINCイオンエアシャワーキットは、キャスター付きで移動が容易であり周囲への異物流出もないため、従来のエアシャワーでは不可能であったクリーンルーム内作業エリア直前でのクリーニングが可能になりました。

除塵能力を確認するため、試験的に作業着に異物を付けて使用したところ、作業着の異物が90％以上除塵することが確認できました。既存のエアシャワーで同様の実験を行ったところ、思うように除塵できず目視ではっきりとわかるほどの明確な差が確認されました。

検査・測定エリアでの異物不良を削減することができ、他工程への導入を計画中です。設置工事不要で好きな場所で運用できるため、従来のエアシャワーとは異なる活用シーンが次々に浮かんでくるとご好評です。