作業者の付着異物が90%以上除去され持ち込み異物が激減

1. 事例の特徴 作業者の付着異物が90%以上除去され持ち込み異物が激減。既存エアシャワーでは除去できない異物を、作業エリア直前でのクリーニングで完全解決。   2. お客様の概要 半導体材料として使用される高純度シリコン材料を製造する専門工場。シリコン材料の検査・測定において、極めて高い品質基準が要求される製造現場。

3. お客様の課題

既存エアシャワーでは防げない作業エリアへの異物持ち込みです。
シリコン材料の品質確保において、以下の深刻な問題が発生していました：

• 検査・測定エリアでは異物混入が絶対に避けられない品質要求
• 建屋に据え付けられている既存エアシャワーでは、作業者の異物を十分に除去できない
• クリーンルーム入室時の除塵だけでは、作業エリアでの異物持ち込みを防げない状況

4. TRINC製品を選んだ理由

従来の固定式エアシャワーの限界を打破するため、TRINCイオンエアシャワーキットを選定。キャスター付きで移動が容易、周囲への異物流出もないという特長により、従来のエアシャワーでは不可能であったクリーンルーム内作業エリア直前でのクリーニングが実現可能となりました。

 

5. 導入効果

作業着異物の90%以上除塵を実証、異物不良を大幅削減

• 除塵能力90%以上を確認：試験的に作業着に異物を付けて使用したところ、90％以上の除塵効果を実証
• 既存エアシャワーとの明確な差：同様の実験で既存エアシャワーでは思うように除塵できず、目視ではっきりとわかるほどの性能差を確認
• 検査・測定エリアでの異物不良削減：作業エリア直前でのクリーニング効果により、異物不良を大幅に削減

6. 予想を超える効果

設置工事不要の柔軟性で新たな活用シーンが続々。他工程への導入が計画中となり、設置工事不要で好きな場所で運用できるため、従来のエアシャワーとは異なる活用シーンが次々に浮かんでくるとご好評をいただいています。1台の導入が工場全体の異物対策革新のきっかけとなっています。