洗浄ウエハへの異物付着が90%以上低減

1. 事例の特徴 洗浄ウエハへの異物付着が90%以上低減。 クリーンルーム内でも防げなかった工程間移動時の異物付着を空間除電で劇的改善。   2. お客様の概要 通信機器に使用される高品質な半導体ウエハを製造する専門工場。洗浄から検査まで、厳格な品質管理のもとで半導体ウエハの製造を行っている。

 

3. お客様の課題

洗浄後の工程間移動で発生する異物付着問題です。
製造工程において、以下の深刻な問題が発生していました：

• 洗浄工程でクリーニングしたウエハを検査工程へ移動させる間に、別の異物が付着
• 異物の影響により検査工程で不良が発生し、大きな問題となっていた
• 全ての作業をクリーンルーム内で実行し異物対策に細心の注意を払っていたが、不良検出を避けることができない状況

 

4. TRINC製品を選んだ理由

空間除電による革新的な異物対策アプローチです。
従来のクリーンルーム対策では解決できない工程間移動時の異物付着問題に対し、空間除電の空間防塵効果に着目。洗浄工程と検査工程の間に空間トリンク（TAS-821 SFS）を設置し、移動エリアをイオン空間とする画期的なソリューションを選定しました。
 

5. 導入効果

検査工程での不良発生を90%以上削減
 

• 異物付着85%以上減少：垂直に立てたウエハへの異物付着測定により、空間除電の効果を定量的に実証
• 生産ラインでの実績：10セットを導入し運用した結果、試験結果と同様の防塵効果を確認
• 検査工程不良90%以上減少：移動時の異物付着防止により、検査工程での不良発生を劇的に改善

 

6. 予想を超える効果

異物不良ゼロの日も実現、他ラインへの水平展開が進行中。
日によっては検査工程での異物不良がゼロになるまで状況が改善。空間トリンクの空間防塵効果が工程間の異物対策に極めて有効であると判断され、他ラインや他工程への水平展開が積極的に進められています。1つの成功事例が工場全体の品質向上施策として拡大しています。