光学・精密機器
光学多層膜コーティングの異物不良が51%減少
1. 事例の特徴光学多層膜コーティングの異物不良が51%減少2. お客様の概要光学デバイス製造工場。医療機器や光学機器に使用される高精度光学デバイスの製造を手がけ、多層コート蒸着工程などの精密加工技術を有する製造部門。 |
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3. お客様の課題
光学デバイス製造工場における多層コート蒸着工程で、以下のような異物不良による品質問題が発生していました。- 蒸着時の異物混入により製品品質が不安定
- 精密な光学特性が要求される製品において、わずかな異物でも致命的な不良となる
- 従来の異物対策では十分な効果が得られず、安定した品質確保が困難
この異物不良により、歩留まり低下と製造コスト増加に悩まされていました。
4. TRINC製品を選んだ理由
蒸着工程での異物混入を根本的に解決するため、空間トリンク(TAS-811 SFS)の空間防塵効果を採用しました。作業エリアをイオンで満たすことで、イオン空間内にある製品や浮遊するホコリの全ての静電気が中和され、異物付着を防止できる原理に注目。この空間防塵効果が作用する空間で素子をクリーニングし蒸着窯にセットすることで、蒸着時の異物混入防止が可能になると判断されました。5. 導入効果
半年間をかけた実証試験により、大幅な異物不良削減を実現しました。- 異物不良削減:最大51%の改善効果を達成
- 複数の現場での検証で一貫した効果を確認
- 空間トリンク取り外し時には即座に不良率が悪化することで効果を実証